ホルダー類Ⅲ（真空仕様）
ミラーホルダ
駆動機構付
 真空外駆動２軸手動
ミラーホルダ
真空外駆動３軸手動
テーブル		 回転＆ＸＹテーブル
長ストローク駆動
テーブル
 超高精度光軸切換用
テーブル
４軸駆動機構 ４軸駆動機構
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