分光器

ホンハーモス結晶分光器 シングル結晶分光器
エシェル回折格子を用いた広帯域
高分解能分光器		 ２結晶分光器
斜入射形軟X線分光器 エシェル回折格子超高分解能分光器
直入射分光器 トムソンパラボラ
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